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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測(cè)厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測(cè)器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無(wú)塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛(ài)睦威地震儀、HOKUYO北陽(yáng)電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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紫外可見(jiàn)光光度計(jì)
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀 橢圓偏振光測(cè)量?jī)x 多功能橢偏儀 橢偏儀系統(tǒng)
詳情介紹：
塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司代理、直營(yíng)各日本品牌工業(yè)產(chǎn)品，聯(lián)系人：張小姐
聯(lián)系電話：15902189399
產(chǎn)品信息
特點(diǎn)
- 可在紫外可見(jiàn)（300~800nm）波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量橢圓參數(shù)
- 納米級(jí)多層薄膜的厚度分析
- 使用 400ch 或更多多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜
- 通過(guò)可變反射角度測(cè)量支持薄膜的詳細(xì)分析
- 通過(guò)數(shù)據(jù)庫(kù)化光學(xué)常數(shù)和添加配方注冊(cè)功能，提高可操作性
測(cè)量項(xiàng)目
- 橢圓參數(shù)（tan= 、cosΔ）測(cè)量
- 光學(xué)常數(shù) （ n ： 折射率 ， k ： 消光系數(shù) ） 分析
- 厚度分析
測(cè)量對(duì)象
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半導(dǎo)體晶圓
柵極氧化薄膜、氮化膜
SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
電阻的光學(xué)常數(shù)（波長(zhǎng)色散） -
化合物半導(dǎo)體
鋁xGa(1-x)As 多層膜，非晶硅 -
FPD
對(duì)準(zhǔn)膜 -
各種新材料
DLC（Diamond Like Carbon）、超導(dǎo)薄膜、磁頭薄膜 -
光學(xué)薄膜
TiO2，SiO2，防反射膜 -
光刻領(lǐng)域
g 線 （436nm）、h 線 （405nm） 、i 線 （365nm） 等各波長(zhǎng)的 n，k 評(píng)價(jià)
里·哈拉
將包含 s 波和 p 波的線性偏振光入射到樣品中，以測(cè)量反射光的橢圓偏振光。 s 波和 p 波的相位和振幅獨(dú)立變化，以獲得 p 波和 s 波反射率的比值和相位差 Δ，這是兩種偏振光的轉(zhuǎn)換參數(shù)，具體取決于樣品。
tan_ 和 cons_稱為橢圓參數(shù)，光譜橢圓測(cè)量測(cè)量這兩個(gè)參數(shù)的波長(zhǎng)相關(guān)光譜。
手勢(shì)
| 類型表達(dá)式 | FE-5000S | FE-5000 |
| 樣本大小 | 高達(dá) 100x100mm | *大 200x200mm |
| 測(cè)量方法 | 旋轉(zhuǎn)分析儀*1 | |
| 測(cè)量膜厚范圍（nd） | 0.1nm～1μm | |
| 入射（反射）角度范圍 | 45～90° | 45～90° |
| 入射（反射）角度驅(qū)動(dòng)方式 | 自動(dòng)正弦桿驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | |
| 入射點(diǎn)直徑*2 | φ2.0 | φ1.2sup*3 |
| tanψ測(cè)量精度 | ±0.01 或更少 | |
| cosΔ 測(cè)量精度 | ±0.01 或更少 | |
| 薄膜厚度的重復(fù)再現(xiàn)性 | 0.01% 或更少*4 | |
| 波長(zhǎng)范圍*5 | 300～800nm | 300～800nm |
| 測(cè)量光源 | 高穩(wěn)定性 Xenon 燈*6 | |
| 舞臺(tái)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 手動(dòng) | 手動(dòng)/自動(dòng) |
| 加載器支持 | 不可以 | 是 |
| 尺寸、重量 |
650（W)×400（D)×593（H）mm 50kg |
1300（W)×890（D)×1750（H）mm 350kg*7 |
*1 偏振器可驅(qū)動(dòng)，緩速板可拆卸，對(duì)不敏感帶有效。
*2 因短軸和角度而異。
*3 微點(diǎn)對(duì)應(yīng)（可選）
*4 使用 VLSI 標(biāo)準(zhǔn) SiO2 膜 （100nm） 時(shí)的值。
*5 選擇自動(dòng)階段時(shí)的值。
上海地區(qū)代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀
浙江地區(qū)代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀
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