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日本ACE排氣壓力控制器EPS-5100

主な用途枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロールクリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
日本ACE排氣壓力控制器EPS-5150

主な用途枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロールクリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
日本ACE排氣壓力控制器EPS-5200

主な用途枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロールクリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP310-RV-04

１．加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御４．排気圧力の設(shè)定値を外部制御可能(RS485、アナログ)
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP310-RV-03

１．加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御４．排気圧力の設(shè)定値を外部制御可能(RS485、アナログ)
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP310-RV-02

１．加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御４．排気圧力の設(shè)定値を外部制御可能(RS485、アナログ)
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP310-RV-01

１．加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御４．排気圧力の設(shè)定値を外部制御可能(RS485、アナログ)
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP500

AP250とAP500は半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構(gòu)成されています?！·丹椁送獠郡摔蠄R力センサを取り付け、そのセンサからの信號を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內(nèi)部圧力を調(diào)整し、外郭圧力が任意の設(shè)
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP250

AP250とAP500は半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構(gòu)成されています?！·丹椁送獠郡摔蠄R力センサを取り付け、そのセンサからの信號を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內(nèi)部圧力を調(diào)整し、外郭圧力が任意の設(shè)定圧力値と一致するように自動制御します。また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です?！?大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、*大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です?！R力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相當(dāng)品または3／4"VCR相當(dāng)品に対応しています。真空中での使用なら相當(dāng)品導(dǎo)體用
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP‐200N‐03

1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP‐200N‐02

1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP‐200N‐01

1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP200

1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP160

AP160Mは半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動制御することによって、配管內(nèi)の圧力を自動調(diào)整するコントローラです。圧力センサを內(nèi)蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変調(diào)により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設(shè) 定圧力に達(dá)します。圧力ロ継手は1／4"VCR相當(dāng)品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導(dǎo)體プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP150

AP150Nは空気や窒素等の不活性ガスを制御対象として、配管內(nèi)の圧力や流量を制御するのに適したコントローラです。圧力センサを內(nèi)蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありませんが、別のセンサを取付け、利用することも可能です。 *大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種類があります。AP150Nモデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変調(diào)により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設(shè)定圧力に達(dá)します。
蘇州塔瑪薩崎售日本ACE*小壓力計AP100

P100N 搭載世界*小壓力設(shè)定單元氣缸等氣壓由1臺控制一般用壓力控制器微小流量型AP100N 是一款控制器，適用于控制空氣和氮氣等惰性氣體的內(nèi)部壓力，如氣缸和相對較小的儲罐，通過控制兩個開/關(guān)閥的打開時間來調(diào)節(jié)壓力。內(nèi)置壓力傳感器，無需向外部添加傳感器，但也可以安裝和使用其他壓力傳感器。 *大控制壓力約為 650kPa，具體取決于連接的氣缸等內(nèi)部容量，但大約在 0.5 秒內(nèi)達(dá)到設(shè)定壓力。

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