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產(chǎn)品中心

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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：塔瑪薩崎Otsuka大塚厚度計
產(chǎn)品型號：光譜干涉晶圓厚度計 SF-3
產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

在晶圓等研磨和拋光過程中，我們以超高速和高精度測量晶圓和樹脂的厚度。

詳情介紹：

特點

光學類型允許非接觸式和無損厚度測量
實現(xiàn)高測量可重復(fù)性
高速實時拋光監(jiān)控
長 WD（工作距離），易于集成到設(shè)備中
使用 LAN 從主機設(shè)備通過 TCP/IP 通信進行控制
可進行多層厚度測量
可測量臨時晶圓（臨時粘合晶圓）的層厚度

五大特點

測量項目

厚度測量（5 層）

用途

各種晶圓（Silicon 和其他化合物晶圓）厚度測量
集成到各種研磨、拋光、粘合等工藝中
晶片以外厚膜部件厚度測定

半導(dǎo)體工藝的嵌入式示例

■ 時態(tài)接合

■ 背磨

背面研磨趨勢圖

■ 濕蝕刻

■ CMP進程

SF-3 規(guī)格

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