熱門搜索：
代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
產(chǎn)品中心
-
CEDAR思達(dá)
-
Stucchi思多奇
-
NITTO KOHKI日...
-
Sankei
-
KYOWA協(xié)和工業(yè)
- DIT東日技研
- AITEC艾泰克
-
SIGMAKOKI西格瑪...
- REVOX萊寶克斯
- CCS 希希愛視
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北陽電機(jī)
- SSD西西蒂
- EMIC 愛美克
- TOFCO東富科
-
打印機(jī)
- HORIBA崛場
- OTSUKA大冢電子
- MITAKA三鷹
- EYE巖崎
- KOSAKA小坂
-
SAGADEN嵯峨電機(jī)
- TOKYO KEISO東...
- takikawa 日本瀧...
- Yamato雅馬拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
-
SENSEZ 靜雄傳感器
- marktec碼科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
-
Sugiyama杉山電機(jī)
-
Osakavacuum大...
-
YAMARI 山里三洋
- ACE大流量計
- KEM京都電子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA東京理化
- ANRITSU安立計器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson諾信
- PISCO匹斯克
- NS精密科學(xué)
- NDK 日本電色
-
山里YAMARI
- SND日新
-
Otsuka大塚電子
- kotohira琴平工業(yè)
- YAMABISHI山菱
- OMRON歐姆龍
- SAKURAI櫻井
- UNILAM優(yōu)尼光
-
氙氣閃光燈
-
UV反轉(zhuǎn)曝光系統(tǒng)
-
UV的水處理
-
檢測系統(tǒng)
-
光照射裝置
-
點(diǎn)光源曝光
-
變壓型電源供應(yīng)器
-
超高壓短弧汞燈
-
UV光洗凈
-
UV曝光裝置
-
uv固化裝置
-
紫外可見光光度計
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
我們的 MCPD 系列采用柔性光纖，可集成到從原位到內(nèi)聯(lián)的各種位置和應(yīng)用。
由于測量原理采用光譜干涉系統(tǒng)，因此在實現(xiàn)高測量可重復(fù)性的同時，還支持多層厚度測量。 采用專有算法，可實現(xiàn)高速實時監(jiān)控。
詳情介紹：
特點(diǎn)
- 膜厚測定范圍65nm~92μm（SiO2轉(zhuǎn)換）
- *短曝光時間1ms~ ※根據(jù)規(guī)格
- 靈活的光纖光學(xué)系統(tǒng)，易于集成到半導(dǎo)體工藝裝置中
- 從頂部進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
- *適合在拋光過程中檢測薄膜厚度端點(diǎn)
基本配置
.png)
設(shè)備嵌入式圖像
測量示例
CMP 流程中實時監(jiān)控的原位端點(diǎn)檢測
對象：布線工序中CMP研磨對象的各種薄膜
規(guī)格
MCPD-9800 規(guī)格
| 類型表達(dá)式 | MCPD-9800 | ||||||||
| 2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |||||
| 測量波長范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 | ||||
| 薄膜厚度范圍* | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm | ||||
| 薄膜厚度/反射/透射/延遲 | 〇 | ||||||||
| 顏色測量 | 〇 | × | |||||||
| 掃描時間 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||||||
| 點(diǎn)直徑 | φ1.2mm | ||||||||
| 纖維長度 | 1m~ 長度需要咨詢 | ||||||||
※膜厚值n=1.5換算。 取決于規(guī)格
MCPD-6800 規(guī)格
| 類型表達(dá)式 | MCPD-6800 | |||
| 2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 測量波長范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 薄膜厚度范圍* | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 薄膜厚度/反射/透射/延遲/顏色測量 | 〇 | |||
| 掃描時間 | 16ms～65s | |||
| 點(diǎn)直徑 | φ1.2mm | |||
| 纖維長度 | 1m~ 長度需要咨詢 | |||
※膜厚值n=1.5換算。 取決于規(guī)格
產(chǎn)品留言
標(biāo)題
聯(lián)系人
聯(lián)系電話
內(nèi)容
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
2.如有必要,請您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
