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    90. 產(chǎn)品詳情
      • 產(chǎn)品名稱:OTSUKA大塚電子OPTM-A1光學(xué)測量膜厚計代理

      • 產(chǎn)品型號:
      • 產(chǎn)品廠商:OTSUKA大塚電子
      • 產(chǎn)品價格:0
      • 折扣價格:0
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      簡單介紹:
      OTSUKA大塚電子OPTM-A1光學(xué)測量膜厚計塔瑪薩崎電子用簡單操作實(shí)現(xiàn)了高精度的光干涉法的膜厚測量的小型低價格的膜厚計。采用了將必要的機(jī)器收納在本體部的多功能一體式機(jī)箱,實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的數(shù)據(jù)獲取。雖然價格低,但通過取得**反射率,也可以分析光學(xué)常數(shù)。
      詳情介紹:

      OTSUKA大塚電子OPTM-A1光學(xué)測量膜厚計塔瑪薩崎電子中國代理

      OTSUKA大塚電子OPTM-A1光學(xué)測量膜厚計塔瑪薩崎電子上海代理

      OTSUKA大塚電子OPTM-A1光學(xué)測量膜厚計塔瑪薩崎電子江蘇代理

      OTSUKA大塚電子OPTM-A1光學(xué)測量膜厚計塔瑪薩崎電子浙江代理

      OTSUKA大塚電子OPTM-A1光學(xué)測量膜厚計塔瑪薩崎電子安徽代理

      OTSUKA大塚電子OPTM-A1光學(xué)測量膜厚計塔瑪薩崎電子山東代理


      測量項(xiàng)目
      • **反射率測量
      • 膜厚分析
      • 光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光系數(shù))

      反射系數(shù)

      二氧化硅2 錫氮化硅膜厚度測量

      半導(dǎo)體晶體管通過控制電流來傳輸信號,并嵌入絕緣膜以絕緣晶體管,以防止電流泄漏和另一個晶體管的電流通過任意通道。 絕緣膜含有SiO2使用(二氧化硅)和SiN(氮化硅)。 二氧化硅2用作絕緣膜,SiN為SiO2作為更高的介電常數(shù)絕緣膜或作為不必要的SiO2在去除 CMP 時用作塞子,然后去除 SiN。 因此,必須測量這些薄膜厚度,以確保絕緣薄膜的性能和**的過程控制。

      SiO2 SiN薄膜厚度測量 [FE-0002]

      SiO2 SiN薄膜厚度測量 [FE-0002]

      SiO2 SiN薄膜厚度測量 [FE-0002]

      彩色抗蝕劑 (RGB) 薄膜厚度測量

      液晶顯示器一般具有右圖所示的結(jié)構(gòu)。 CF在一個像素處具有RGB,是一種非常高清的微圖案。 主流的CF成膜方法是將顏料基彩色抗蝕劑涂在玻璃的整個表面,通過光刻技術(shù)曝光和顯影圖像,每個RGB只留下圖案化部分。 此時,管理薄膜厚度值很重要,因?yàn)槿绻噬刮g劑的厚度不是恒定的,則會導(dǎo)致圖案變形并作為濾色器的顏色變化。

      彩色抗蝕劑 (RGB) 薄膜厚度測量 [FE-0003]

      彩色抗蝕劑 (RGB) 薄膜厚度測量 [FE-0003]

       

      硬涂層的薄膜厚度測量

      近年來,使用具有各種功能的高性能薄膜的產(chǎn)品已經(jīng)變得司空見慣,并且根據(jù)用途,可能需要在薄膜表面具有摩擦,沖擊,耐熱和耐化學(xué)性等性能的保護(hù)膜。 通常形成硬涂層(HC)膜作為保護(hù)膜層,但是由于HC膜的厚度可能無法用作保護(hù)膜,可能會在薄膜上產(chǎn)生翹曲,或者可能導(dǎo)致外觀不均勻或變形,因此有必要控制HC層的厚度值。

      硬涂層薄膜厚度測量 [FE-0004]硬涂層薄膜厚度測量 [FE-0004]

       

      基于邊坡模型的ITO結(jié)構(gòu)分析

      ITO(氧化銦錫)是一種用于液晶顯示器的透明電極材料,在成膜后通過退火(熱處理)來提高導(dǎo)電性和色度。 那時,氧態(tài)和結(jié)晶度也會發(fā)生變化,但這種變化可能會隨著薄膜的厚度逐步改變斜率,并且不能將其視為具有光學(xué)均勻成分的單層薄膜。 對于這樣的 ITO,我們將介紹一個使用傾斜模型測量上下界面 nk 傾斜度的示例。

      利用邊坡模型對ITO進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析 [FE-0005]利用邊坡模型對ITO進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析 [FE-0005]

       

      考慮表面粗糙度的薄膜厚度測量

      如果樣品表面有粗糙度,則可以將表面粗糙度建模為“粗糙度層”,其中大氣(空氣)和膜厚材料以1:1的比例混合以分析粗糙度和膜厚。 在這里,我們描述了一個測量表面粗糙度為幾納米的SiN(氮化硅)的示例。

      考慮表面粗糙度的膜厚測量 [FE-0007]考慮表面粗糙度的膜厚測量 [FE-0007]

       

      使用超晶格模型測量干涉濾光片

      干涉濾光片通過沉積膜厚和NK控制的膜,可以在指定的波長波段內(nèi)具有任意的反射率和透射率。 其中,*高精度的薄膜是通過多次重復(fù)薄膜作為高折射率層和低折射率層的一對(組)而形成的。 描述了使用超晶格模型測量和分析此類樣品的示例。

      使用超晶格模型測量干涉濾光片 [FE-0009]使用超晶格模型測量干涉濾光片 [FE-0009]

       

      使用非干涉層模型測量封裝的OLED材料

      OLED材料對氧氣和濕氣敏感,在正常氣氛中可能會改變或損壞。 因此,成膜后,立即用玻璃密封。 描述了在密封時通過玻璃測量薄膜厚度的示例。 玻璃和中間空氣層采用非干涉層模型。

      使用無干擾層模型測量封裝的OLED材料 [FE-0010]使用無干擾層模型測量封裝的OLED材料 [FE-0010]

       

      使用多點(diǎn)識別分析測量NK未知超薄膜

      為了使用*小二乘法進(jìn)行擬合并分析薄膜厚度值(D),需要材料的NK。 如果 nk 未知,它將 d 和 nk 解析為變量參數(shù)。 但是,對于D為100nm或更小的超薄膜,D和NK無法分離,這會降低精度并且可能無法提供準(zhǔn)確的D。 在這種情況下,測量具有不同d的多個樣品,并假設(shè)nk相同,則執(zhí)行同時分析(多點(diǎn)相同分析)。 這使得準(zhǔn)確找到 nk 和** d 成為可能。

      使用多點(diǎn)識別分析測量NK未知超薄膜 [FE-0013]使用多點(diǎn)識別分析測量NK未知超薄膜 [FE-0013]

       

      使用界面系數(shù)在該基板上測量薄膜厚度

      對于基板表面未反射的粗糙度較大的樣品,散射會降低測量的光,并使測量的反射率低于實(shí)際水平。 通過使用界面系數(shù)考慮基板表面反射率的降低,可以測量基板上薄膜的膜厚值。 例如,我們將描述一個測量發(fā)際線成品鋁基板上樹脂膜厚度的示例。

      使用界面系數(shù)在基板上測量薄膜厚度 [FE-0015]使用界面系數(shù)在基板上測量薄膜厚度 [FE-0015]

       

      測量各種應(yīng)用的類金剛石涂層厚度

      DLC(類金剛石碳)是一種無定形碳基材料。 它具有高硬度、低摩擦系數(shù)、耐磨性、電絕緣性、高阻隔性、表面改性和與其他材料的親和力提高等特點(diǎn),并用于各種應(yīng)用。 近年來,根據(jù)每種應(yīng)用對薄膜厚度測量的需求不斷增加。
      DLC厚度測量通常通過破壞性檢查進(jìn)行,其中制備監(jiān)視器樣品并用電子顯微鏡觀察樣品的橫截面,但大冢電子采用的光學(xué)干涉膜測厚儀可以無損高速測量。 通過改變測量波長范圍,可以測量從超薄膜到超厚薄膜的各種薄膜厚度。
      通過采用獨(dú)特的顯微鏡光學(xué)系統(tǒng),可以實(shí)際測量形狀的樣品而不是監(jiān)視器樣品。 此外,通過在用監(jiān)視器檢查測量位置的同時進(jìn)行測量,可用于分析異常原因。
      我們?yōu)楦鞣N形狀提供定制的傾斜和旋轉(zhuǎn)平臺。 可以測量實(shí)際樣品中的任何多個位置。
      對于光學(xué)干涉膜厚系統(tǒng)的弱點(diǎn),除非知道材料的光學(xué)常數(shù)(NK),否則無法進(jìn)行準(zhǔn)確的膜厚測量的問題,通過使用我們**的分析方法同時分析預(yù)先制備的多個不同厚度的樣品,可以獲得比傳統(tǒng)方法更高的NK:多點(diǎn)分析。
      通過使用NIST(美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院)認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)來保證可追溯性。

      適用于各種應(yīng)用的DLC涂層厚度測量]

      ○ 齒輪 ○ 軸

      ■類金剛石薄膜厚度測量示例
      測量各種應(yīng)用(工具、齒輪、軸)的類金剛石涂層厚度

       


      代理品牌:OTSUKA大塚電子(薄膜測厚儀、偏光片檢測、納米粒度分析儀、ZATA電位儀、相位差膜·光學(xué)材料檢查設(shè)備、液晶層間隙量測設(shè)備等)、SANKO三高NPM日脈、東機(jī)產(chǎn)業(yè)(粘度計)、CCS(視檢查光源)、Aitec(視檢查光源)、REVOX萊寶克斯(視檢查光源)、EYE巖崎(UV汞燈)、SEN 日森、SERIC索萊克、各類日本光源 索尼克(風(fēng)速計、流量計等)、坂口電熱(加熱器、制冷片)、NEWKON新光(針孔機(jī))、NS精密科學(xué)(柱塞泵、高壓耐腐蝕防爆泵)   、SIBATA柴田科學(xué)、SAKURAI櫻井

      優(yōu)勢品牌:AND艾安得、TOA-DKK東亞電波、JIKCO吉高、RKC理化工業(yè)KYOWA共和、IIJIMA飯島電子、HORIBA堀場、EXCEL艾庫斯HEIDON新東科學(xué)、USHIO牛尾、TOPCON拓普康、ORC歐阿西、SEKONIC日本世光、Tokyokoden東京光電、DSK電通、SAGADEN嵯峨電機(jī)、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、POLARION普拉瑞、HAYASHI林時計、MACOME碼控美、TML東京測器等等各日本品牌工業(yè)產(chǎn)品

      塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理、直營各日本品牌工業(yè)產(chǎn)品,聯(lián)系人:張小姐

      聯(lián)系電話(微信):15902189399 


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