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產(chǎn)品中心

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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：AMAYA天谷制作所太陽能電池批量生產(chǎn)用AMAX1000S
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

156mm 方形/小時 1500 張吞吐量 ? 通過采用 SiC 托盤解決重金屬污染問題，以及通過改進托盤支架進行背面旋轉(zhuǎn)措施氣相沉積設備

詳情介紹：

特點

超大規(guī)模生產(chǎn)設備可
運輸 156mmx156mm 方形基板和 125mm x 125mm 方形基板，以滿足太陽能電池的生產(chǎn)需求。

為了實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，我們開發(fā)了專用分配頭，并開發(fā)了雙臂輸送機構(gòu)，
以實現(xiàn)超高速輸送。此外，還增加了新的燈加熱機制，以獲得
超高速和晶圓溫度均勻性。

我們開發(fā)了特殊的晶圓支架，可有效地加熱到太陽能電池的薄晶圓上。

卸載機部分采用多級伯努伊夾頭，將晶圓和托盤分開，并
具有冷卻功能。

性能

薄膜厚度均勻性

≦±10%

支持的晶圓尺寸

156mm 方形，126mm 方形

氣體種類

SiH4, O2, PH3, B2H6, N2

沉積溫度

～430℃

生產(chǎn)力

1500 張/小時

主要規(guī)格

設備尺寸 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H)

加熱機構(gòu) 電阻加熱和燈加熱

卸載加載：夾緊，卸載：伯努伊恰克

分散頭
（氣體噴嘴） A63 長頭（*多可添加 3 個標準頭和 5 個頭）

蘇州代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

常州代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

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無錫代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

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產(chǎn)品名稱：AMAYA天谷制作所太陽能電池批量生產(chǎn)用AMAX1000S

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