熱門搜索：
代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測(cè)厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測(cè)器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
產(chǎn)品中心
-
CEDAR思達(dá)
-
Stucchi思多奇
-
NITTO KOHKI日...
-
Sankei
-
KYOWA協(xié)和工業(yè)
- DIT東日技研
- AITEC艾泰克
-
SIGMAKOKI西格瑪...
- REVOX萊寶克斯
- CCS 希希愛視
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北陽電機(jī)
- SSD西西蒂
- EMIC 愛美克
- TOFCO東富科
-
打印機(jī)
- HORIBA崛場(chǎng)
- OTSUKA大冢電子
- MITAKA三鷹
- EYE巖崎
- KOSAKA小坂
-
SAGADEN嵯峨電機(jī)
- TOKYO KEISO東...
- takikawa 日本瀧...
- Yamato雅馬拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
-
SENSEZ 靜雄傳感器
- marktec碼科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
-
Sugiyama杉山電機(jī)
-
Osakavacuum大...
-
YAMARI 山里三洋
- ACE大流量計(jì)
- KEM京都電子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA東京理化
- ANRITSU安立計(jì)器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson諾信
- PISCO匹斯克
- NS精密科學(xué)
- NDK 日本電色
-
山里YAMARI
- SND日新
-
Otsuka大塚電子
- kotohira琴平工業(yè)
- YAMABISHI山菱
- OMRON歐姆龍
- SAKURAI櫻井
- UNILAM優(yōu)尼光
-
氙氣閃光燈
-
UV反轉(zhuǎn)曝光系統(tǒng)
-
UV的水處理
-
檢測(cè)系統(tǒng)
-
光照射裝置
-
點(diǎn)光源曝光
-
變壓型電源供應(yīng)器
-
超高壓短弧汞燈
-
UV光洗凈
-
UV曝光裝置
-
uv固化裝置
-
紫外可見光光度計(jì)
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
氣相沉積設(shè)備
● ±2%以內(nèi)的膜厚均勻性
● 低溫工藝對(duì)應(yīng)
● 抑制
顆粒產(chǎn)生 ● 提高
維護(hù)性 ● 緊湊的裝置結(jié)構(gòu)
● 提高
**性 ● 良好的臺(tái)階覆蓋性
詳情介紹：
概述
在密封室中，晶圓的沉積表面通過上部夾頭向下部保持并加熱，
同時(shí)從底部的分散頭吹出工藝氣體。
通過夾緊，可以提高晶圓表面的溫度均勻性，實(shí)現(xiàn)出色的薄膜厚度均勻性。
此外，通過防止氣體進(jìn)入晶圓背面，防止背面沉積，防止顆粒粘附在晶圓上和腔室中
。
設(shè)備尺寸盡可能緊湊，占用空間*小。
密封室消除了氣體泄漏，提高了工人的**性。
性能
| 支持的晶圓尺寸 | 到 8 英寸 | |||||||||||||||||
| 氣體種類 | SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 (TEOS, TEB, TMOP, O3是可選的） | |||||||||||||||||
| 沉積溫度 | 300～450℃ | |||||||||||||||||
| 生產(chǎn)力 | ~15張/小時(shí)（500nm成膜時(shí)） | |||||||||||||||||
規(guī)格
| 設(shè)備尺寸 | 890mm(W) x 2300mm(D) x 2250mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機(jī)構(gòu) | 電阻加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 雙滑塊，機(jī)器人 CtoC 輸送 | |||||||||||||||||
|
分散頭 （氣體噴嘴） |
圓形 | |||||||||||||||||
重慶代理AMAYA天谷制作所高性能單片式常壓CVD裝置A200V
云南代理AMAYA天谷制作所高性能單片式常壓CVD裝置A200V
山東代理AMAYA天谷制作所高性能單片式常壓CVD裝置A200V
浙江代理AMAYA天谷制作所高性能單片式常壓CVD裝置A200V
產(chǎn)品留言
標(biāo)題
聯(lián)系人
聯(lián)系電話
內(nèi)容
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
