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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設備A6300S
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設備A6300S ●6英寸~120張/小時吞吐量 ●采用SiC托盤的重金屬污染對策氣相沉積設備

詳情介紹：

特點

這是一種連續(xù)常壓
CVD設備，可滿足小直徑晶圓大規(guī)模生產(chǎn)設備的需求，每小時可產(chǎn)生120片吞吐量。

該設備通過非常集中的
輸送系統(tǒng)實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，同時降低成本，從而實現(xiàn)了廣泛的沉積區(qū)域。

SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發(fā)生。此外，由于熱量，工藝性能
穩(wěn)定，老化較少。

標準配備托盤自動更換功能，可縮短操作員的**性和維護時間。
此外，通過采用自動提升頭底座的機制，可以輕松進行
清潔。

性能

薄膜厚度均勻性

≦±4.0%

支持的晶圓尺寸

到 6 英寸

氣體種類

SiH4, O2, PH3, B2H6, N2

沉積溫度

350～430℃

生產(chǎn)力

~120張/小時

主要規(guī)格

設備尺寸 1500mm(W) x 2850mm(D) x 2000mm(H)

加熱機構(gòu) 電阻加熱

卸載機器人CtoC輸送

分散頭
（氣體噴嘴） A63 頭（標準 2 頭）

深圳代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設備A6300S

上海代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設備A6300S

北京代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設備A6300S

蘇州代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設備A6300S

重慶代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設備A6300S

氣相沉積設備

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產(chǎn)品名稱：代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設備A6300S

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