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產(chǎn)品中心

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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：日本進口MIKASA旋轉(zhuǎn)刮涂機MS-B300
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠商：MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

光刻.com從旋涂機（涂布機）到掩模對準器（曝光裝置），以及用于開發(fā)和蝕刻的研究實驗室機器。此外，作為測量，我們還處理各種測量機，用于薄膜厚度測量、階梯測量、線寬和形狀測量。

詳情介紹：

產(chǎn)品規(guī)格

*大電路板尺寸	φ12英寸晶圓或200×200mm基板
轉(zhuǎn)速（rpm）	20～5,000
旋轉(zhuǎn)精度	±1rpm（負載時）
電機	交流伺服電機
蓋	聚碳酸酯
旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑	φ500mm
步驟模式數(shù)	100 步× 10 模式
時間設(shè)置	999.9sec
**聯(lián)鎖	真空標準蓋標準設(shè)備
滴落設(shè)備	選購件（*多可安裝 2 個臂）
使用真空壓力	-0.08～-0.1MPa
電源	AC200 至 240V 單層 5A
外形尺寸（mm）	545W×432H×654D
重量	55kg
選項	居中夾具

* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

膜厚分布數(shù)據(jù)

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使用的型號	MS-B300
電阻	OFPR-800LB（東京應(yīng)化社制）
電路板尺寸	φ12英寸硅晶片
目標厚度	1μm
薄膜厚度分布	±0.8％

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產(chǎn)品名稱：日本進口MIKASA旋轉(zhuǎn)刮涂機MS-B300

產(chǎn)品規(guī)格

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