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產品詳情

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產品名稱：代理銷售MIKASA旋轉刮涂機MS-B150
產品型號：
產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
產品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

旋轉涂布機涂布機.com（Mikasa）的產品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。

詳情介紹：

產品規(guī)格

*大電路板尺寸	φ6英寸晶圓或100×100mm基板
轉速（rpm）	20～7,000
旋轉精度	±1rpm（負載時）
電機	交流伺服電機
蓋	丙烯酸
旋轉室內徑	φ290mm
步驟模式數(shù)	100 步× 10 模式
時間設置	999.9sec
**聯(lián)鎖	真空標準蓋選項
滴落設備	選項
使用真空壓力	-0.08～-0.1MPa
電源	AC100～240V　5A
外形尺寸（mm）	352W×303H×432D
重量	16kg

* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

支持選項

<定制類型>		>支持<的型號
自動滴落裝置（空氣驅動）	1 臂	○
自動滴落裝置（空氣驅動）	2 臂	○
自動滴落裝置（支架類型）		○
邊緣沖洗		○
反向沖洗		○
排氣管		○
廢液排放		○
蓋子限位開關		○
特氟龍涂層加工		○
添加電機廢熱風扇		○
緊急停止開關		○
大功率電機

膜厚分布數(shù)據(jù)

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使用的型號	MS-B150
薄膜厚度測量設備	菲梅特里克斯F50
電阻	OFPR-800LB（東京應化社制）
電路板尺寸	φ6英寸硅晶片
目標厚度	1μm
薄膜厚度分布	±0.6％

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產品名稱：代理銷售MIKASA旋轉刮涂機MS-B150

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