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    86. SIBATA柴田
    87. TAISEI
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    89. 加熱器
    90. 產(chǎn)品詳情
      • 產(chǎn)品名稱:國內(nèi)長期供應(yīng)MIKASA旋轉(zhuǎn)刷涂機MS-B100

      • 產(chǎn)品型號:
      • 產(chǎn)品廠商:MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機
      • 產(chǎn)品價格:0
      • 折扣價格:0
      • 產(chǎn)品文檔:
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      簡單介紹:
      旋轉(zhuǎn)涂布機涂布機.com(Mikasa)的產(chǎn)品使用交流伺服電機,因此無刷,因此在潔凈室中污染良好,通過降低電機的發(fā)熱,在連續(xù)使用時,由于溫度升高,薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
      詳情介紹:

      產(chǎn)品規(guī)格

      *大電路板尺寸 φ4英寸晶圓或75×75mm基板
      轉(zhuǎn)速(rpm) 20~8,000
      旋轉(zhuǎn)精度 ±1rpm(負載時)
      電機 交流伺服電機
      丙烯酸
      旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 φ220mm
      步驟模式數(shù) 100 步× 10 模式
      時間設(shè)置 999.9sec
      **聯(lián)鎖 真空標準蓋
      選項
      滴落設(shè)備 不可安裝
      使用真空壓力 -0.08~-0.1MPa
      電源 AC100~240V 5A
      外形尺寸(mm) 259W×246H×330D
      重量 10kg

      * 規(guī)格如有更改,恕不另行通知。

      支持選項

      <定制類型> >支持<的型號
      自動滴落裝置(空氣驅(qū)動) 1 臂  
      2 臂  
      自動滴落裝置(支架類型)    
      邊緣沖洗    
      反向沖洗    
      排氣管  
      廢液排放  
      蓋子限位開關(guān)  
      特氟龍涂層加工  
      添加電機廢熱風(fēng)扇  
      緊急停止開關(guān)  
      大功率電機    

      膜厚分布數(shù)據(jù)

      膜厚分布數(shù)據(jù)

      ↑Click Zoom

      使用的型號 MS-B100
      薄膜厚度測量設(shè)備 菲梅特里克斯F50
      電阻 OFPR-800LB(東京應(yīng)化社制)
      電路板尺寸 φ4英寸硅晶片
      目標厚度 1μm
      薄膜厚度分布 ±0.8%
      產(chǎn)品留言
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      蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號