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      2. 
    
      
        
      
            
      
                
                
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                
      
                                    
                                
      
                                
      
                                    
      
                                        
      
                                            
      
                                                
      
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                
      
                                                
      
                                                    
                                                
      
                                                
      
    
      
    
      
        
      
    
      
        產(chǎn)品中心
    
      

  
      
    
      
      
    2. 
        ONO SOKKI小野測...

        
      
      3. 
      
    3. 
        U-Technology...

        
        
        
      
      
      4. 
      
    4. 
        ITON伊藤

        
      
      5. 
      
    5. 
        chuhatsu中央發(fā)明...

        
      
      6. 
      
    6. 
        TOADKK東亞

        
      
      7. 
      
    7. 
        HOYA豪雅

        
      
      8. 
      
    8. 
        COSMOS日本新宇宙

        
      
      9. 
      
    9. 
        UENO上野精機

        
        
        
      
      
      10. 
      
    10. 
        DSK電通產(chǎn)業(yè)

        
      
      11. 
      
    11. 
        POLARION普拉瑞

        
        
        
      
      
      12. 
      
    12. 
        LUCEO魯機歐

        
      
      13. 
      
    13. 
        ThreeBond三鍵

        
      
      14. 
      
    14. 
        HAMAMASTU濱松

        
        
        
      
      
      15. 
      
    15. 
        TML東京測器

        
        
        
      
      
      16. 
      
    16. 
        SHINAGAWA SO...

        
      
      17. 
      
    17. 
        IMV愛睦威

        
      
      18. 
      
    18. 
        custom 東洋計量

        
      
      19. 
      
    19. 
        yuasa 尤阿薩

        
      
      20. 
      
    20. 
        HAYASHI林時計

        
      
      21. 
      
    21. 
        SIBATA柴田科學(xué)

        
      
      22. 
      
    22. 
        SEN日森特殊光源

        
      
      23. 
      
    23. 
        HSK 平原精機 

        
        
        
      
      
      24. 
      
    24. 
        SOMA相馬光學(xué)

        
        
        
      
      
      25. 
      
    25. 
        iwata巖田

        
      
      26. 
      
    26. 
         MUSASHI武藏

        
      
      27. 
      
    27. 
        USHIO牛尾

        
      
      28. 
      
    28. 
        ACTUNI阿庫圖

        
      
      29. 
      
    29. 
        ORC歐阿希

        
      
      30. 
      
    30. 
        DRY-CABI德瑞卡比

        
      
      31. 
      
    31. 
        COSMO科斯莫

        
      
      32. 
      
    32. 
        SHOWASOKKI昭和...

        
        
        
      
      
      33. 
      
    33. 
        CHUBUSEKI中部精...

        
        
        
      
      
      34. 
      
    34. 
        SAMCO薩姆肯

        
        
        
      
      
      35. 
      
    35. 
        navitar 納維塔

        
      
      36. 
      
    36. 
        ASKER 高分子計器

        
      
      37. 
      
    37. 
        KOSAKA Labor...

        
      
      38. 
      
    38. 
        EMIC愛美克

        
      
      39. 
      
    39. 
        OPTEX奧泰斯

        
        
        
      
      
      40. 
      
    40. 
        NISSIN日進電子

        
      
      41. 
      
    41. 
        TANDD 蒂和日

        
      
      42. 
      
    42. 
        FUJI TERMINA...

        
      
      43. 
      
    43. 
        TAKASAGO高砂

        
      
      44. 
      
    44. 
        TAKIKAWA瀧川

        
      
      45. 
      
    45. 
        SUGAWARA菅原

        
      
      46. 
      
    46. 
        MACOME碼控美

        
      
      47. 
      
    47. 
        FURUKAWA古河

        
        
        
      
      
      48. 
      
    48. 
        TSUBOSAKA壺坂

        
        
        
      
      
      49. 
      
    49. 
        mitutoyo 三豐

        
      
      50. 
      
    50. 
        HAYASHI 林時計

        
      
      51. 
      
    51. 
        HOZAN 寶山

        
      
      52. 
      
    52. 
        FEI SEM電子顕微鏡

        
      
      53. 
      
    53. 
        YUASA尤阿薩

        
      
      54. 
      
    54. 
        SAKAGUCHI坂口電...

        
      
      55. 
      
    55. 
        MDCOM 株式會社

        
        
        
      
      
      56. 
      
    56. 
        inflidge 英富麗

        
        
        
      
      
      57. 
      
    57. 
        RKC 理化工業(yè)

        
      
      58. 
      
    58. 
        MORITEX茉麗特

        
      
      59. 
      
    59. 
        LIGHTING 光屋L...

        
      
      60. 
      
    60. 
        TEITSU帝通

        
      
      61. 
      
    61. 
        Excel聽音機

        
      
      62. 
      
    62. 
        SERIC索萊克

        
      
      63. 
      
    63. 
        FUJI富士化學(xué)

        
        
        
      
      
      64. 
      
    64. 
        TONCON拓豐

        
        
        
      
      
      65. 
      
    65. 
        SHINKO新光電子

        
        
        
      
      
      66. 
      
    66. 
        Ono Sokki  小...

        
      
      67. 
      
    67. 
        樂彩

        
      
      68. 
      
    68. 
        IIJIMA 飯島電子

        
      
      69. 
      
    69. 
        THOMAS托馬斯

        
      
      70. 
      
    70. 
        JIKCO吉高

        
      
      71. 
      
    71. 
        分散材料研究所

        
      
      72. 
      
    72. 
        NAVITAR納維塔

        
        
        
      
      
      73. 
      
    73. 
        Cho-Onpa 超音波...

        
      
      74. 
      
    74. 
        revox 萊寶克斯

        
      
      75. 
      
    75. 
        Toki Sangyo ...

        
      
      76. 
      
    76. 
        SUPERTOOL世霸

        
      
      77. 
      
    77. 
        EIWA榮和

        
      
      78. 
      
    78. 
        FUJITERMINAL...

        
      
      79. 
      
    79. 
        TOYOX東洋克斯

        
      
      80. 
      
    80. 
        AMAYA天谷制作所

        
      
      81. 
      
    81. 
        TSUBAKI NAKA...

        
        
        
      
      
      82. 
      
    82. 
        TOPCON 拓普康

        
      
      83. 
      
    83. 
        NIKKATO日陶

        
      
      84. 
      
    84. 
        ITOH伊藤

        
      
      85. 
      
    85. 
        NEWKON新光

        
      
      86. 
      
    86. 
        SIBATA柴田

        
      
      87. 
      
    87. 
        TAISEI

        
        
        
      
      
      88. 
      
    88. 
        MITSUI三井電氣

        
        
        
      
      
      89. 
      
    89. 
        加熱器

        
        
        
      
      
      90. 
    
  
      


      

    
      

      

                                            
      
                                        
      
                                    
      
                                    
      
                                        
      
                                            
      
                                                
      
                                                    
                                                
      
                                                
      
        
      
        
      
            
      
                
            
      
            

            
      
                
      
                    
                    
                    
                    
                    
                
      
                
      
                    
                    
                    
                
      
                
      
                
      
                    
      
                        
      
                            產(chǎn)品詳情
                        
      
                        
      
                            
      
    
      
    
      
        
      
    
      
            
      

                
      
                    
                    
        
                          
      • 產(chǎn)品名稱：日本USHIO牛尾分體式投影曝光設(shè)備UX-5/ UX-7 
        • 
                          
      • 產(chǎn)品型號：
        • 
                          
      • 產(chǎn)品廠商：USHIO牛尾
        • 
                          
      • 產(chǎn)品價格：0
        • 
                          
      • 折扣價格：0
        • 
                          
      • 產(chǎn)品文檔：
                          
        • 




                    
      
                    
        
                           
      • 
                             
        
                               
                             
        
                         
        • 
                    
      
                     
      
                    你添加了1件商品 查看購物車
                    
      

                
      
            
      
    
      

    
      
        
      
            簡單介紹：
        
      
        
      
            日本USHIO牛尾分體式投影曝光設(shè)備UX-5 系列 塔瑪薩崎（蘇州）電子有限公司
        
      
    
      

    
      
        
      
            詳情介紹：
        
      
        
      
            

      
	
      
		
      
			
      
				
      
					開創(chuàng)TTL非曝光波長/對準(zhǔn)方式 
				
      
				
      
					由于Ushio的磚利技術(shù)“TTL非曝光法波長對準(zhǔn)”，觀察掩模標(biāo)記時，基板上的對準(zhǔn)標(biāo)記沒有曝光。此外，由于可以直接觀察工件標(biāo)記，因此不會因掩膜而降低對比度，并且可以進行清晰標(biāo)記的高精度對準(zhǔn)。 
				
      
				
      
					支持各種對齊標(biāo)記 
				
      
				
      
					由于注冊圖案是“圖案匹配兼容”，因此可以與各種布線圖案對齊，而無需專用對齊標(biāo)記。 
				
      
				
      
					高分辨率 
				
      
				
      
					配備 Ushio 的投影鏡頭“UPL 系列”以實現(xiàn)高分辨率。支持線和空間=5μm的設(shè)計規(guī)則的全 面量產(chǎn)。 
				
      
				
      
					深い焦點深度 
				
      
				
      
					由于焦深較深（± 50 至 100 μm），因此即使因基板的臺階、翹曲和膨脹而導(dǎo)致散焦，也可以獲得與剛剛聚焦相當(dāng)?shù)膱D案輪廓。它在暴露厚的干膜和阻焊劑時特別有效。 
				
      
				
      
					表面階段的高速步進和重復(fù) 
				
      
				
      
					通過使用精密空氣軸承消除摩擦并通過使用表面電機結(jié)構(gòu)降低運動部件的重量和剛度，實現(xiàn)了高速步進和重復(fù)操作。此外，表面平臺通過激光干涉儀進行反饋控制，實現(xiàn)了高速運行和高定位精度。 
				
      
				
      
					面罩無損 
				
      
				
      
					由于掩模和工件是非接觸式投影曝光方法，因此不會因抗蝕劑的粘附而損壞掩模。除了防止布線圖案缺陷外，掩模還可以半長久性使用，從而降低運行成本。此外，無需清洗掩膜版，與緊密接觸式曝光設(shè)備相比，預(yù)計設(shè)備利用率會有所提高。 
				
      
				
      
					保持高堆疊精度以應(yīng)對板收縮和翹曲 
				
      
				
      
					“自動縮放功能”可根據(jù)板子的收縮和翹曲自動將投影放大倍率縮放至 0.1%，對其進行校正并大大減少錯位。 
				
      
			
      
		
      
	
      

      

      

      
	型號列表 

      

      
	
      
		
      
			 
		
      
	
      

      

      

      
	
      
		
      
			
      
				FC-BGA
      
FC-CSP
      
Interposer
      
2.1D
      
2.5D
      
封裝
      
半導(dǎo)體后處理
      
RDL
      
鈍化
      
TSV
      
TSV底孔
      
印刷電路板等
				
      
					UX-7 系列陣容 
				
      
				
      
					
      
						
							
      
								
									型式 
								
								
									UX7-Square70 
								
							
      
							
      
								
									曝光區(qū) 
								
								
									□70毫米 
								
							
      
							
      
								
									板尺寸 
								
								
									～□530毫米 
								
							
      
							
      
								
									面具 
								
								
									6英寸 
								
							
      
							
      
								
									解析力 
								
								
									2μm L/S 
								
							
      
							
      
								
									露光波長 
								
								
									我線 
								
							
      
						      
					
      
					
      
						
      
							■ 分辨能力：可分辨高達2 μm L/S 
						
      
					
      
 
					
      
						
							
      
								
									抗蝕劑厚度   
								
								
									5微米 
								
							
      
							
      
								
									露光量  
								
								
									150mJ/cm 2 
								
							
      
						      
					
      
					
      
						
      
							■ 曝光面積：70 x 70 mm 
						
      
					
      
 
				
      
				
      
					
      
				
      
       
			
      
		
      
	
      

      
        
      
    
      

      
 
    
      

      

                            
      
    
      
    
      
        
      
    
      
        
      
            產(chǎn)品留言
        
      
        
      
            
      
                標(biāo)題
                
      
                    
                
      
            
      

            
      
                聯(lián)系人
                
      
                    
                
      
            
      
            
      
                聯(lián)系電話
                
      
                    
                
      
            
      

            
      
                內(nèi)容
                
      
                    
                
      
            
      
            
      
                驗證碼
                
      
                    
                
      
                
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                注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
      2.如有必要,請您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
            
      
        
      
    
      

      

    
      

      

                        
      
                    
      
                
      
            
      
        
      
    
      
                                            
      
                                        
      
                                    
      
                                
      
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
                
            
      
		 		
      蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號