測定範囲(XxYxZ)(mm)
400×400×200
*小表示量(μm)
0.01
測定精度(E1XY軸)(um)
（0.25＋L/1000）
測定精度(E1Z軸)(um)
（1.5+2L/1000）
測定精度(E2XY平面)(um)
（0.5＋2L/1000）
ULTRA 測定精度(E1Z軸)(um)(50mmストローク時)
（1.0＋2L/1000）
カメラ
CCD白黒カメラ
観察裝置
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系
照明 垂直落射照明
ハロゲン
照明 透過照明
照明 リング照明
溫度補正機能
自動溫度補正
供給空気流量(L/min)(ANR)
300
使用空気圧(MPa)
0.4
精度保証 光學條件
対物レンズ5x(パワータレット2x)
精度保証 溫度(℃)
19?23
精度保証 溫度変化(℃/H)
0.5/1,1/24
測定物 *大積載質(zhì)量(kg)
40
本體質(zhì)量(設置臺含む)(kg)
2025
載物ガラス寸法(mm)
493×551
本體外観寸法(WxDxH)(mm)
1190×1735×1910
TAF LAF繰返し精度 *大(um)
σ≦0.8
搭載可能機能 TAF
トラッキングオートフォーカス裝置
蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號
