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    90. 產(chǎn)品詳情
      • 產(chǎn)品名稱:OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200

      • 產(chǎn)品型號(hào):SF-3/200
      • 產(chǎn)品廠商:OTSUKA大塚電子
      • 產(chǎn)品價(jià)格:0
      • 折扣價(jià)格:0
      • 產(chǎn)品文檔:
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      簡(jiǎn)單介紹:
       SF-3/200 OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì) 用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實(shí)時(shí)、高精度的測(cè)量。OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200
      詳情介紹:
      SF-3/BB

         OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)

      用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實(shí)時(shí)、高精度的測(cè)量。OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200

      特長(zhǎng)

      非接觸、非破壞可進(jìn)行厚度測(cè)量

      反射光學(xué)系統(tǒng)(可以通過一方的接觸來測(cè)量)

      高速性(*快5ks)且可實(shí)時(shí)評(píng)價(jià)

      實(shí)現(xiàn)高的穩(wěn)定性(重復(fù)精度0.01%)

      粗枝大葉

      可以對(duì)應(yīng)任何距離

      對(duì)應(yīng)多層結(jié)構(gòu)(*大5層)

      內(nèi)置NG數(shù)據(jù)的功能

      可以測(cè)量距離(形狀)(組入傳感器的附屬選項(xiàng))*

      *根據(jù)測(cè)量范圍內(nèi)的光學(xué)距離測(cè)量


       

      Point1:獨(dú)自の技術(shù)で

      幅広い範(fàn)囲の膜厚に対応するとともに、高い波長(zhǎng)分解能を?qū)g現(xiàn)。
      大塚電子獨(dú)自の技術(shù)をコンパクトボディに詰め込みました。

       

      Point2:高速対応

      移動(dòng)する測(cè)定対象でも正確なピッチで測(cè)れるので、
      工場(chǎng)の生産ラインにも*適です。

       

      Point3:さまざまな表面狀態(tài)のサンプルに対応

      約φ20μmという微小スポットにより、
      さまざまな表面狀態(tài)のサンプルにおいても、厚み測(cè)定が可能です。

       

      Point4:さまざまな環(huán)境に対応

      *大200mmまで離れた位置からでも測(cè)定可能なため、
      目的や用途に応じた測(cè)定環(huán)境を構(gòu)築可能です。

       

      測(cè)定項(xiàng)目
      • 厚み測(cè)定(5層)

       

      用途
      • 各種の厚膜部材厚み

       

      仕様

      SF-3仕様

      *1 : 測(cè)定條件および解析條件により*小サンプリング周期は異なります。 
      *2 : 製品出荷基準(zhǔn)の保証値スペックとなり、當(dāng)初基準(zhǔn)サンプルAirGap約300μmと
               約1000μm測(cè)定時(shí)の相対標(biāo)準(zhǔn)偏差( n = 20 ) 
      *3 : WD50mmプローブ仕様時(shí)の設(shè)計(jì)値
      *4 : 特別仕様 
      *5 : 薄膜測(cè)定時(shí)に使用 
      ※CE取得品はSF-3/300、SF-3/1300 


      基本構(gòu)成

      測(cè)定例
           サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ 
      サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ
       

      マッピング結(jié)果 研削後300mmウェーハシリコン厚み

      マッピング結(jié)果
      研削後300mmウェーハシリコン厚み

       



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