KLA 膜厚儀Filmetrics F20 薄膜測(cè)厚儀

精密測(cè)量設(shè)備已經(jīng)廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)及人民生活等領(lǐng)域，其研發(fā)與制造能力是高新技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。先進(jìn)制造技術(shù)，特別是未來(lái)的智能制造技術(shù)有大量精密測(cè)量?jī)x器與裝備作為支撐。優(yōu)尼康公司主要經(jīng)營(yíng)光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x，3D輪廓儀、防震臺(tái)、X射線熒光譜儀等測(cè)量設(shè)備，本次展會(huì)上我們展示了Filmetrics光學(xué)膜厚儀F20。

Filmetrics光學(xué)膜厚儀F20能輕松的實(shí)現(xiàn)對(duì)膜層厚度和光學(xué)常數(shù)(n 和 k 值)的測(cè)量，通過(guò)對(duì)膜層頂部、底部反射光譜進(jìn)行分析，數(shù)秒內(nèi)我們即可得到膜層的厚度、折射率和消光系數(shù)。本產(chǎn)品具有安裝便捷、測(cè)量迅速的特點(diǎn)，通過(guò)內(nèi)置的獨(dú)立軟件和 USB 接口，能夠很容易的把 F20 安裝在任何的 Windows 電腦平臺(tái)上。健全的軟件材料庫(kù)(100 多種材料)，滿足了對(duì)各種不同膜層結(jié)構(gòu)測(cè)量的需要，包括對(duì)單層、多層或獨(dú)立膜層的測(cè)量。

同時(shí)Filmetrics光學(xué)膜厚儀F20適用范圍廣，光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜可以測(cè)量，包括電介質(zhì)與半導(dǎo)體材料。工藝工程師希望薄膜厚度測(cè)量是快速易得的，現(xiàn)在高精度的厚度成像技術(shù)讓 Filmetrics 可以快速建立配方，并且擁有快的測(cè)試速度，且成本也相對(duì)較低。

不同于大多數(shù)的設(shè)備銷售公司，優(yōu)尼康具備核心技術(shù)與豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，不光為用戶提供設(shè)備，也提供設(shè)備具體應(yīng)用及工藝方面的支持服務(wù)，同時(shí)具備核心研發(fā)能力，在設(shè)備設(shè)計(jì)和集成上可以幫助客戶解決特殊應(yīng)用問(wèn)題。

 美國(guó)Filmetrics 薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)F20，F(xiàn)30，F(xiàn)40，F(xiàn)50，F(xiàn)60，F(xiàn)3-XXT 

系列F20 系列世界上*暢銷的臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)只需按下一個(gè)按鈕，您在不到一秒鐘的同時(shí)測(cè)量厚度和折射率。設(shè)置同樣簡(jiǎn)單, 只需插上設(shè)備到您運(yùn)行Windows系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的USB端口, 并連接樣品平臺(tái) , F20已在世界各地有成千上萬(wàn)的應(yīng)用被使用. 事實(shí)上，我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.選擇您的F20主要取決于您需要測(cè)量的薄膜的厚度（確定所需的波長(zhǎng)范圍）

KLA 膜厚儀Filmetrics 薄膜測(cè)厚儀　F20系列型號(hào)規(guī)格

F30 系列監(jiān)控薄膜沉積，*強(qiáng)有力的工具F30光譜反射率系統(tǒng)能實(shí)時(shí)測(cè)量學(xué)沉積率，沉積層厚度，光學(xué)常數(shù)（N或K值）和半導(dǎo)體以有電介層的均勻性。樣品層分子束外延和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積：可以測(cè)量平滑和半透明的，或輕度吸收的薄膜。這實(shí)際上包括從氮化鎵侶到鎵銦磷砷的任何半導(dǎo)體材料。

KLA 膜厚儀Filmetrics 薄膜測(cè)厚儀F30系列型號(hào)規(guī)格

F40 系列將您的顯微鏡變成薄膜測(cè)量工具F40 產(chǎn)品系列用于測(cè)量小到 1 微米的光斑。 對(duì)大多數(shù)顯微鏡而言，F(xiàn)40 能簡(jiǎn)單地固定在 c 型轉(zhuǎn)接器上，這樣的轉(zhuǎn)接器是顯微鏡行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配件。F40 配備的集成彩色攝像機(jī)，能夠?qū)y(cè)量點(diǎn)進(jìn)行準(zhǔn)確監(jiān)控。 在 1 秒鐘之內(nèi)就能測(cè)定厚度和折射率。 像我們所有的臺(tái)式儀器一樣，F(xiàn)40 需要連接到您裝有 Windows 計(jì)算機(jī)的 USB 端口上并在數(shù)分鐘內(nèi)完成設(shè)定。

KLA 膜厚儀Filmetrics 薄膜測(cè)厚儀F40系列型號(hào)規(guī)格

KLA 膜厚儀Filmetrics 薄膜測(cè)厚儀F50 系列自動(dòng)化薄膜測(cè)繪Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤，樣品直徑可達(dá)450毫米。(耐用的平臺(tái)在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬(wàn)次的量測(cè)!)測(cè)繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測(cè)繪方法，并且不受測(cè)量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測(cè)繪圖案。不同的 F50 儀器是根據(jù)波長(zhǎng)范圍來(lái)加以區(qū)分的。 標(biāo)準(zhǔn)的 F50是*受歡迎的產(chǎn)品。 一般較短的波長(zhǎng) (例如， F50-UV) 可用于測(cè)量較薄的薄膜，而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則可以用來(lái)測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

KLA 膜厚儀Filmetrics 薄膜測(cè)厚儀F60：生產(chǎn)環(huán)境的自動(dòng)化厚度映射Filmetrics F60-t系列可以像我們的F50產(chǎn)品一樣映射薄膜厚度和索引，但是它還包含許多專門用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。其中包括自動(dòng)缺口查找，自動(dòng)機(jī)載基線測(cè)量，帶運(yùn)動(dòng)互鎖的封閉式測(cè)量平臺(tái)，預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)以及升級(jí)到完全自動(dòng)化晶圓處理的選項(xiàng)。不同的F60-t儀器主要根據(jù)厚度和波長(zhǎng)范圍進(jìn)行區(qū)分。通常需要較短波長(zhǎng)（例如F60-t-UV）來(lái)測(cè)量較薄的膜，而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)允許測(cè)量更厚，更粗糙和更不透明的膜。

F60系列型號(hào)規(guī)格F3-sX 系列F3-sX 系列能測(cè)量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳波長(zhǎng)選配F3-sX系列使用近紅外光來(lái)測(cè)量薄膜厚度，即使有許多肉眼看來(lái)不透光(例如半導(dǎo)體)。 F3-s980 是波長(zhǎng)為980奈米的版本，是為了針對(duì)成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計(jì),F3-s1310是針對(duì)重?fù)诫s硅片的*佳化設(shè)計(jì),F3-s1550則是為了*厚的薄膜設(shè)計(jì)。附件附件包含自動(dòng)化測(cè)繪平臺(tái)，一個(gè)影像鏡頭可看到量測(cè)點(diǎn)的位置以及可選配可見(jiàn)光波長(zhǎng)的功能使厚度測(cè)量能力*薄至15奈米。F3-sX 系列 型號(hào)規(guī)格包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置光斑尺寸10微米的單點(diǎn)測(cè)量平臺(tái)FILMeasure 8反射率測(cè)量軟件Si 參考材料FILMeasure 獨(dú)立軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)F3-XXT 系列F3-XXT專門設(shè)計(jì)用于測(cè)量非常厚的層，尤其是粗糙的表面，例如在IC故障分析的硅背面去除中經(jīng)常遇到的表面。使用UPG-RT-to-Thickness軟件模塊，可以在幾分之一秒內(nèi)測(cè)量5μm至1000μm厚的硅。視頻成像可以與SampleCam-XXT一起添加。XY8自動(dòng)階段可以添加自動(dòng)XY映射功能。自動(dòng)對(duì)焦選項(xiàng)也可用。為了測(cè)量更薄的層（小于0.1μm），可以添加可見(jiàn)波長(zhǎng)光譜儀。與我們所有的厚度測(cè)量?jī)x器一樣，F(xiàn)3連接到Windows計(jì)算機(jī)的USB端口，并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)置。 

KLA 膜厚儀Filmetrics F20 薄膜測(cè)厚儀