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日本MIKASA|涂布機(jī)旋轉(zhuǎn)機(jī)曝光機(jī)|MS-B150|半導(dǎo)體行業(yè)|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司中國(guó)代理店熱銷(xiāo)
日期：2025-07-02 08:18
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摘要：
日本MIKASA：MS-B150適用于直徑6英寸晶圓或100mm*100mm 基片的型號(hào)
為半導(dǎo)體制造工序提供支持的 Mikasa
備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后，提供一站式服務(wù)。另外，為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī)，可在發(fā)生故障時(shí)盡早應(yīng)對(duì)，且在銷(xiāo)售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對(duì)研究過(guò)程中所發(fā)生的一系列問(wèn)題，也可在現(xiàn)
場(chǎng)提出解決建議。與客戶(hù)共同探討在哪個(gè)工序出現(xiàn)了問(wèn)題、應(yīng)如何改進(jìn)等等，從而得出解決建議。Mikasa 作為一個(gè)可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢(xún)顧問(wèn)，不僅...
日本MIKASA：MS-B150適用于直徑6英寸晶圓或100mm*100mm 基片的型號(hào)
為半導(dǎo)體制造工序提供支持的 Mikasa
備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后，提供一站式服務(wù)。另外，為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī)，可在發(fā)生故障時(shí)盡早應(yīng)對(duì)，且在銷(xiāo)售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對(duì)研究過(guò)程中所發(fā)生的一系列問(wèn)題，也可在現(xiàn)
場(chǎng)提出解決建議。與客戶(hù)共同探討在哪個(gè)工序出現(xiàn)了問(wèn)題、應(yīng)如何改進(jìn)等等，從而得出解決建議。Mikasa 作為一個(gè)可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢(xún)顧問(wèn)，不僅銷(xiāo)售設(shè)備，而是為客戶(hù)半導(dǎo)體制造的整體工藝流程提供支持。
成膜管理
為了控制薄膜保持在一定厚度(分布)范圍內(nèi)，轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)時(shí)間、腔室內(nèi)空氣(溶劑空氣)這3 點(diǎn)非常重要若要追求更好的膜厚分布管理，可對(duì)滴下量、腔室內(nèi)形狀(鼓風(fēng)、排氣、吸盤(pán)形狀)、溫度、濕度、基板面平行度、滴波溫度、滴波濃度、滴波揮發(fā)性、烘烤溫度、烘烤溫度的分布不均勻等各種因素進(jìn)行管理，實(shí)現(xiàn)均
成膜。
