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日本KOSAKA小坂臺(tái)階儀的廣泛應(yīng)用|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司中國代理店

日期：2025-07-02 00:03

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摘要：針對半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力分析--KOSAKA小坂臺(tái)階儀株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立的公司，也是日本**家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商,主要有測定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測定部門為*具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位 ET200A配備了各種型號(hào)探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。

針對半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力分析--就選擇日本KOSAKA小坂臺(tái)階儀|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司中國代理店

株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立的公司，也是日本**家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商,主要有測定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測定部門為*具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位

ET200A配備了各種型號(hào)探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。

傳感器（pick up）：

1.原理：直動(dòng)式傳感器（業(yè)界**）

2. Z方向測定范圍：Max. 600μm

3. Z方向*小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時(shí))

4. 測定力：10uN ~500uN

5. 觸針半徑：2 μm60°鉆石針頭（另有多種可選）

6. 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式

7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm(1um以下臺(tái)階時(shí))

三、X 軸(基準(zhǔn)軸/測量軸)：

1. 移動(dòng)量(*大測長)：100mm(±50mm)

2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移動(dòng),測定速度：0.005~20mm/s

4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率0.1μm

5. 位置重復(fù)誤差：±5um

七、工件觀察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率

2. 綜合倍率：約320倍(使用19”monitor時(shí))

3. 視野：1.2*0.9mm

4. 觀察方向：右側(cè)斜視

5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）

八、軟件功能簡介：

1. 型號(hào)：i-STAR31

2. 可設(shè)定測量條件菜單、重復(fù)測量設(shè)定、解析菜單

3. 可設(shè)定下針座標(biāo)，實(shí)現(xiàn)定位后自動(dòng)測量及解析功能

4. 可設(shè)定低通濾波，過濾噪音及雜訊

5. 具有返回測量啟始點(diǎn)功能

6. 顯示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍

7. 解析功能：主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內(nèi)應(yīng)力分析、內(nèi)建多種段差解析菜單可

選

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