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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
小坂臺(tái)階儀膜厚儀探針接觸式ET200A-3D國(guó)內(nèi)總代 它是2D表面粗糙度分析和階梯測(cè)量的理想選擇，可實(shí)現(xiàn)高精度，高分辨率和出色的穩(wěn)定性，并且還支持測(cè)量力小的軟樣品表面。
ET200A：表面粗糙度分析和階梯測(cè)量的理想選擇
ET200A-D：配備電動(dòng)Y軸單元
ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測(cè)量的理想選擇
詳情介紹：
小坂臺(tái)階儀膜厚儀探針接觸式ET200A-3D國(guó)內(nèi)總代
設(shè)備特點(diǎn)：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括
半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能基板、薄膜磁頭及磁盤(pán)、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、
薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高
精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨
損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET200A 配備了各種型號(hào)探針，提供了通過(guò)過(guò)程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色
CCD 原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。
它是2D表面粗糙度分析和階梯測(cè)量的理想選擇，可實(shí)現(xiàn)高精度，高分辨率和出色的穩(wěn)定性，并且還支持測(cè)量力小的軟樣品表面。
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ET200A：表面粗糙度分析和階梯測(cè)量的理想選擇
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ET200A-D：配備電動(dòng)Y軸單元
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ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測(cè)量的理想選擇
| *大樣本量 | Φ160×厚度52毫米 |
|---|---|
| 再現(xiàn)性 | 1σ 0.3nm以內(nèi) |
| 測(cè)量范圍 | Z軸：600微米 X：100毫米 |
| 分辨率 | Z軸：0.1納米 X：0.1微米 |
| 測(cè)量力 | 10μN(yùn)~500μN(yùn) |
規(guī)格
一、樣品臺(tái)：
1. 樣品臺(tái)尺寸：φ160mm
2. 大工件尺寸：φ200mm
3. 大工件厚度：52mm
4. 大工件重量：2kg
5. 傾斜調(diào)整范圍：±2°(±5mm/160mm)
6. 樣品臺(tái)材質(zhì)：黑色硬質(zhì)鋁
7. 手動(dòng)旋轉(zhuǎn)：360°(手動(dòng)粗調(diào))、±5°(微調(diào)，小約0.5°)
二、傳感器（pick up）：
1. 原理：直動(dòng)式傳感器 （業(yè)界**）
2. Z方向測(cè)定范圍：Max. 600μm
3. Z方向小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時(shí))
4. 測(cè)定力： 10uN ~500uN
5. 觸針半徑：2 μm 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）
6. 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式
7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm (1um以下臺(tái)階時(shí))
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸/測(cè)量軸)：
1. 移動(dòng)量(大測(cè)長(zhǎng))：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移動(dòng),測(cè)定速度：0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重復(fù)誤差：±5um
四、Z軸：1. 移動(dòng)量：54mm
2. 移動(dòng)速度：max.2.0mm/S
3. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
六、Y軸：（手動(dòng)定位用）
1. 移動(dòng)量：25mm（±12.5mm）
七、工件觀察：
1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率
2. 綜合倍率：約320倍 (使用19” monitor時(shí))
3. 視野：1.2*0.9mm
4. 觀察方向：右側(cè)斜視
5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）
八、軟件功能簡(jiǎn)介：
1. 型號(hào)：i-STAR31
2. 可設(shè)定測(cè)量條件菜單、重復(fù)測(cè)量設(shè)定、解析菜單
3. 可設(shè)定下針座標(biāo)，實(shí)現(xiàn)定位后自動(dòng)測(cè)量及解析功能
4. 可設(shè)定低通濾波，過(guò)濾噪音及雜訊
5. 具有返回測(cè)量啟始點(diǎn)功能
6. 顯示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍
7. 解析功能：主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內(nèi)應(yīng)力分析、內(nèi)建多種段差解析菜單可
選
九、床臺(tái)：一體花崗巖
十、防振臺(tái)(選購(gòu))：落地型或桌上型
十一、電源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA
十二、本體外觀尺寸及重量：
W500×D440×H610mm, 120kg，一體花崗巖低重心結(jié)構(gòu)
(不含防震臺(tái))
Kosaka小坂ET200A粗糙度三維6寸臺(tái)階儀總代
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