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    1. 產(chǎn)品中心
      產(chǎn)品詳情
      • 產(chǎn)品名稱:Auto SE - 自動化薄膜測量工具HORIBA堀場總代

      • 產(chǎn)品型號: Auto SE
      • 產(chǎn)品廠商:HORIBA堀場
      • 產(chǎn)品價格:0
      • 折扣價格:0
      • 產(chǎn)品文檔:
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      簡單介紹:
      Auto SE - 自動化薄膜測量工具HORIBA堀場總代 Auto SE是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕,幾秒鐘內(nèi)即可自動完成樣品測量和分析,并提供完整的薄膜特性分析報告,包括薄膜厚度、光學常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。Auto SE全自動化設(shè)計、一鍵式操作,功能齊全。配備自動XYZ樣品臺進行成像分析,自動切換微光斑,多種附件可選,以滿足不同的應(yīng)用需求。
      詳情介紹:

      Auto SE - 自動化薄膜測量工具HORIBA堀場國內(nèi)總代

      • 光譜范圍:440-1000nm
      • 光斑尺寸:7個尺寸微光斑全自動切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm
      • 探測系統(tǒng):CCD,分辨率2nm
      • 樣品臺:真空吸盤,Z軸行程40mm
      • 光斑可視系統(tǒng):CCD攝像機-視野1.33x1 mm-分辨率10μm
      • 量角器:固定角70°,也可選擇66°或61.5°
      • 多種附件可選
      • 測試時間:<2s,常規(guī)為5s
      • 準確性:NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002
      • 重復性:NIST 15nm ± 0.2 ?

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