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加熱器
產品詳情
簡單介紹：
156mm 方形/小時 1500 張吞吐量
? 通過采用 SiC 托盤解決重金屬污染問題，
以及通過改進托盤支架進行背面旋轉措施
氣相沉積設備
詳情介紹：
特點
超大規(guī)模生產設備可
運輸 156mmx156mm 方形基板和 125mm x 125mm 方形基板，以滿足太陽能電池的生產需求。
為了實現(xiàn)大規(guī)模生產，我們開發(fā)了專用分配頭，并開發(fā)了雙臂輸送機構，
以實現(xiàn)超高速輸送。 此外，還增加了新的燈加熱機制，以獲得
超高速和晶圓溫度均勻性。
我們開發(fā)了特殊的晶圓支架，可有效地加熱到太陽能電池的薄晶圓上。
卸載機部分采用多級伯努伊夾頭，將晶圓和托盤分開，并
具有冷卻功能。
性能
| 薄膜厚度均勻性 | ≦±10% | |||||||||||||||||
| 支持的晶圓尺寸 | 156mm 方形，126mm 方形 | |||||||||||||||||
| 氣體種類 | SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 | |||||||||||||||||
| 沉積溫度 | ～430℃ | |||||||||||||||||
| 生產力 | 1500 張/小時 | |||||||||||||||||
主要規(guī)格
| 設備尺寸 | 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機構 | 電阻加熱和燈加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 加載： 夾緊， 卸載： 伯努伊恰克 | |||||||||||||||||
|
分散頭 （氣體噴嘴） |
A63 長頭（*多可添加 3 個標準頭和 5 個頭） | |||||||||||||||||
常州代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產AMAX1000S
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