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產(chǎn)品中心

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> AMAYA天谷制作所> 半導(dǎo)體制造設(shè)備>

產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：國內(nèi)銷售AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

● 低溫（150~300°C）處理 ● 形成高品質(zhì)的SiO2膜低應(yīng)力、無等離子體損傷、小顆粒 ? 降低導(dǎo)入和維護成本小占地面積、無需真空 · 等離子體處理 ● 價格低廉氣相沉積設(shè)備

詳情介紹：

特點

4.5 代玻璃基板沉積設(shè)備，支持剛性和柔性設(shè)備，如 FPD。

搭載了2臺成膜有效寬度760mm的氣頭，采用吸附式加熱臺，
實現(xiàn)了溫度控制性±3%以內(nèi)。

4.5 代玻璃基板可在 250°C 下以 25 片/小時或更高的吞吐量沉積 100nm SiO2 膜，
確保薄膜厚度均勻性在 10% 以內(nèi)。

性能

薄膜厚度均勻性

±10%

支持的晶圓尺寸

4.5 代

氣體種類

SiH4, O3, PH3, B2H6

沉積溫度

150～300℃

主要規(guī)格

設(shè)備尺寸 1300mm(W) x 7350mm(D) x 2000mm(H)

氣頭搭載2個成膜有效寬度760mm氣頭

蘇州代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

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產(chǎn)品名稱：國內(nèi)銷售AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

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