測定範囲(XxYxZ)(mm)
250×200×150mm（250×200×118mm:対物レンズ Z-objective 1×使用時）
400×400×200mm（400×400×168mm:対物レンズ Z-objective 1×使用時）
*小表示量(μm)
0.1
測定精度(E1XY軸)(um)
（2+3L/1000）
測定精度(E1Z軸)(um)
（3+5L/1000）
測定精度(E2XY平面)(um)
（2.5+4L/1000）
測長ユニット
リニアエンコーダ
カメラ
CMOSカラーカメラ
観察裝置
Zoom ユニット（8 ポジション）
照明 垂直落射照明
白色LED
照明 透過照明
照明 リング照明
4 分割固定式 白色LED
精度保証 光學條件
対物レンズZ-objective 1.5x(Zoom倍率5.25x)
精度保証 溫度(℃)
20±1
18～23
測定物 *大積載質量(kg)
10
20
本體質量(設置臺含む)(kg)
155
324
載物ガラス寸法(mm)
311×269
466×480
本體外観寸法(WxDxH)(mm)
570×767×1468
776×1303×1529
溫度補正機能
手動溫度補正
TP測定精度(E1XYZ軸)um
2.4+3L/1000
2.
蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號
