-
CEDAR思達(dá)
-
Stucchi思多奇
-
NITTO KOHKI日...
-
Sankei
-
KYOWA協(xié)和工業(yè)
- DIT東日技研
- AITEC艾泰克
-
SIGMAKOKI西格瑪...
- REVOX萊寶克斯
- CCS 希希愛視
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北陽電機(jī)
- SSD西西蒂
- EMIC 愛美克
- TOFCO東富科
-
打印機(jī)
- HORIBA崛場
- OTSUKA大冢電子
- MITAKA三鷹
- EYE巖崎
- KOSAKA小坂
-
SAGADEN嵯峨電機(jī)
- TOKYO KEISO東...
- takikawa 日本瀧...
- Yamato雅馬拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
-
SENSEZ 靜雄傳感器
- marktec碼科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
-
Sugiyama杉山電機(jī)
-
Osakavacuum大...
-
YAMARI 山里三洋
- ACE大流量計
- KEM京都電子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA東京理化
- ANRITSU安立計器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson諾信
- PISCO匹斯克
- NS精密科學(xué)
- NDK 日本電色
-
山里YAMARI
- SND日新
-
Otsuka大塚電子
- kotohira琴平工業(yè)
- YAMABISHI山菱
- OMRON歐姆龍
- SAKURAI櫻井
- UNILAM優(yōu)尼光
-
氙氣閃光燈
-
UV反轉(zhuǎn)曝光系統(tǒng)
-
UV的水處理
-
檢測系統(tǒng)
-
光照射裝置
-
點(diǎn)光源曝光
-
變壓型電源供應(yīng)器
-
超高壓短弧汞燈
-
UV光洗凈
-
UV曝光裝置
-
uv固化裝置
-
紫外可見光光度計
OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計
特長
非接觸、非破壞可進(jìn)行厚度測量
反射光學(xué)系統(tǒng)（可以通過一方的接觸來測量）
高速性（*快5ks）且可實時評價
實現(xiàn)高的穩(wěn)定性（重復(fù)精度0.01%）
粗枝大葉
可以對應(yīng)任何距離
對應(yīng)多層結(jié)構(gòu)（*大5層）
內(nèi)置NG數(shù)據(jù)的功能
可以測量距離（形狀）（組入傳感器的附屬選項）*
*根據(jù)測量范圍內(nèi)的光學(xué)距離測量
幅広い範(fàn)囲の膜厚に対応するとともに、高い波長分解能を?qū)g現(xiàn)。
大塚電子獨(dú)自の技術(shù)をコンパクトボディに詰め込みました。
移動する測定対象でも正確なピッチで測れるので、
工場の生産ラインにも*適です。
約φ20μmという微小スポットにより、
さまざまな表面狀態(tài)のサンプルにおいても、厚み測定が可能です。
*大200mmまで離れた位置からでも測定可能なため、
目的や用途に応じた測定環(huán)境を構(gòu)築可能です。
- 厚み測定（５層）
- 各種の厚膜部材厚み
仕様
＊1 ： 測定條件および解析條件により*小サンプリング周期は異なります。
＊2 ： 製品出荷基準(zhǔn)の保証値スペックとなり、當(dāng)初基準(zhǔn)サンプルAirGap約300μmと
約1000μm測定時の相対標(biāo)準(zhǔn)偏差（ n = 20 ）
＊3 ： WD50mmプローブ仕様時の設(shè)計値
＊4 ： 特別仕様
＊5 ： 薄膜測定時に使用
※CE取得品はSF-3/300、SF-3/1300
基本構(gòu)成
|
|
サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ |
|
|
|
マッピング結(jié)果 研削後300mmウェーハシリコン厚み |
OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BB
2.如有必要,請您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
