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產(chǎn)品名稱：UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠商：ORC歐阿希
產(chǎn)品價格：
0
折扣價格：
0
產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300 ?????塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司系 京都玉崎（日本）株式會社全資設(shè)立的中國子公司，自2014年成立以來，迅速崛起，專業(yè)從事國內(nèi)貿(mào)易/國際貿(mào)易業(yè)務(wù)，主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計測儀器、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用
詳情介紹：
低圧UVランプから放射する254nmのUVを利用し、プラズマ処理や、熱アニール処理工程などで、蓄積された電荷を効率よく除去し、素子の特性を改善します?！√匦预胃纳皮摔瑜暄u品歩留まりの向上、信頼性の向上が期待できます。
◆ 特 徴
1．
フラッシュメモリやその他の不揮発性メモリ、イメージセンサなどのチャージ除去やデータ消去に有効です。
2．
半導(dǎo)體デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。
3．
チャージイレースに*適なUV波長を、効率よく照射します。
4．
幅広い角度からUVを照射することで、効率よくチャージを除去します。
5．
対象ウェーハサイズは、１２インチ（標(biāo)準(zhǔn)）、１１インチ（オプション）となります。
6．
処理中のウェーハ溫度は100℃程度です。低溫で処理可能なため、ダメージを與えません。
7．
裝置は、裝置本體、ランプ電源ユニット、制御ユニットから構(gòu)成されています。
◆ 仕 様
型式
VUM-3500
VUS-3300
処理ウエーハ
サイズ
12インチ
○
○
8インチ
OP
OP
同時処理枚數(shù)
15枚
3枚
スループット ※1
約48WPH
約24WPH
カセット形態(tài)
FOUP
FOUP
ウェーハ搬送
自動搬送
自動搬送
ランプ燈數(shù)
20本
4本
初期照度
45mW/cm
2
45mW/cm
2
照度測定
自動測定
自動測定
裝置サイズ
1140（W）×
2100（D）×
1850（H）
1360（W）×
2210（D）×
2700（(H）
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